电子半导体洁净室按照工艺要求一般会分百级，千级、万级，譬如末端工艺的LCD制屏无尘车间。背光屏冲压无尘车间、组装无尘车间洁净度一般设为万级，不需要达到千级。总的来说在无尘车间有多种工艺工序时，可以根据工艺的不同要求，采用不同的空气洁净度标准进行建设。在百级-万级的半导体洁净室装修平面方案中

首先，根据不同的用途划分不同的区域空间。员工需要从原材料准备入口区、原材料缓冲区、原材料储存区、重量转换区、包装区、清洁区和终半成品储存区、干燥区、样品储存区设计至少两层的修整区。作为大型成品储存区。必须合理设置这些不同区域，同时确保它们清洁干燥。后，整个区域的设置应该有所不同。

电子半导体洁净室平面分区：

　　1、洁净生产区

　　2、洁净辅助区

　　3、办公管理区

　　4、设备区

工作人员的净化路线为：

　　入口→换鞋→更换外出服→洗浴→清洁走廊→二次洗浴→换洁净服→风淋室→洁净生产区。

　　物品的净化路线为:

　　入口→原料库→粗洁净→传递窗→精洁净→传递窗→洁净生产区→传递窗→包装→成品库。

其次，半导体洁净车间的关键是防水。从顶部到地面，防水层必须满足相应的防水要求。防水层不应小于两米。同时，照明要求也应达到200。从混合照明到局部照明，必须严格监控整个生产过程。